Wird keinen nennenswerter Unterschied machen da meist beim 1. ProcessClose der Prozess bereits geschlossen wird.
Selbst wenn er nochmal die Schleife durchgeht (weil ProcessExists true schmeißt, wenn Windows den Prozess noch nich abgeschossen hat) wird sich das kaum auf die CPU-Last auswirken.
Ich würde hier eher nach der Lesbarkeit des Codes gehen und das nehmen was schöner aussieht.